Stepper

Als Stepper bezeichnet man die in der Halbleiterindustrie verwendete Anlage, die mit Hilfe der Photolithografie mikrofeine Strukturen auf einen Wafer aufbringt. Hierbei wird ähnlich wie bei einem Dia-Projektor eine Vorlage, Maske - engl. Reticle genannt, von Licht durchschienen und auf eine lichtempfindliche Schicht (Photolack bzw. Resist) projiziert. Die Strukturen der Vorlage werden dabei stark verkleinert, so dass Linienbreiten bis hinunter auf 90 Nanometer erreicht werden. Ein Problem stellt besonders die hohe Positioniergenauigkeit (Overlay) unter dem Linsensystem dar.

Kategorie: Mikroelektronik

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