Hier gibt es die beiden Bilder nochmal größer.
Die Maße vom Pagermotor waren vom kleinsten den ich habe, ich glaube die im Link angebotenen sind etwas größer.
http://images.google.de/images?q=tbn...PagerMotor.JPG

Bei der REM Aufnahme ist ein Maßstab von 10µ dabei, in Original besser zu erkennen.
http://images.google.de/images?q=tbn...ntro/mems1.jpg