Ich hätte jetzt gedacht der Haken bei CKOPT muss drin sein für einen 16MHz Quarz, ich werd das mal ausprobieren, langsam gehen mir aber die Quarze aus.

Heiß wird aber nichts, weder Quarz noch µC. Ob die Quarze dann noch gehen nach dem aus- und wieder einlöten, hab ich noch nicht probiert, hab immer ein neuen genommen. Aber ausschalten, warten und einschalten, da geht nichts mehr, auch programmieren geht nicht, PonyProg erkennt den dann nicht mehr (device unknown).