Habe gerade so einen Sensor in Betrieb genommen. Ist ja eigentlich kaum
was falsch zumachen, hat jedenfalls einwandfrei funktioniert. Alle Werte bis runter auf 300mbar lagen innerhalb der Spec. Wie hast du den Unterdruck realisiert? Aber vielleicht bist du in der Zwischenzeit schon auf
die Ursache gestoßen.
Gruß
Kryostat