Positiosbestimmung von Wafern

**Michi1814** · 27.10.2006, 10:35

Servus Leute,
ich konstruiere eine Anlage, die Wafer berührungslos positionieren soll. Dazu soll die Position des Wafers bestimmt werden um eine passende Regelung zu entwerfen. Eigentlich sollten für die Positionsbestimmung CIS-Sensoren (M106-A6) von der Firma Eureca verwendet werden. Leider sind die zugehörigen Platinen aber sehr teuer. Daher stellt sich die Frage, welche anderen Möglichkeite es gibt, die Position des Wafers zu bestimmen. Am günstigsten wären Zeilensensoren die mit zunehmendem Überdeckungsgrad eine größere Spannung liefern. Kennt einer von euch eine günstige Lösung?

**Manf** · 27.10.2006, 10:57

Welche Genauigkeitsanforderung besteht denn dafür?
Manfred

**Michi1814** · 27.10.2006, 14:00

Entschuldige, dass ich erst so spät zurückschreibe, aber ich musste leider weg. Am besten wäre ein analoges Signal das kontinuierlich mit der Überdeckung ansteigt. Wären zum Beispiel Fotodioden geeignet?

**CowZ** · 27.10.2006, 14:55

Und mit welcher Genauigkeit? (Ich wiederhol hier einfach mal die Frage

)

Genauigkeit: Musst du das auf nen cm, mm, oder nm oder noch genauer positionieren?

**Michi1814** · 30.10.2006, 09:11

Von der Genauigkeit würde ich sagen, dass man auf zehntel bis ein mm genau bestimmen sollte

**Manf** · 30.10.2006, 09:59

Bis zu 1mm Positioniergenauigkeit?
Um was für einen Wafertyp oder welche Anwendung handelt es sich dabei?

Bild hier

**Babbage** · 30.10.2006, 11:19

Oh man Manf

Es weiß doch jeder das Wafer meist rund sind. Es muß sich also um diesen Typ handeln:
Bild hier

Die müssen dann noch dotiert werden mit Schoko oder Vanille.

P.S. sorry Michi1814

**Manf** · 30.10.2006, 12:06

Genau, nur ernsthaft:
Geht es wirklich um eine Anwendung, bei der ein Siliziumwafer auf 1mm Toleranz positioniert wird?
(Für eine Eiswaffel reicht das sicher in den meisten Fällen aus. )

Manfred

**Michi1814** · 30.10.2006, 12:57

Es geht in einer Semesterarbeit nur darum den Wafer zu positionieren. Es soll nur eine Übergabe von einem Greifer auf diese Anlage stattfinden. Wie ruhig Wafer der auf dieser Anlage balanciert wird ist erstmal egal.